“!!!”
张帆嘟囔着小嘴乖乖的退了回去,她都没说我能干啥呢,就被拒绝了,她还能说啥。
太霸道了!
而就在所有人的注视之下。
光刻机全面启动。
整个工作机组成流水线程方式。
晶圆由机器人分毫不差的放在工作台上的卡槽之中,四周的卡位将晶圆稳固。
可在此时,画面却静止了下来。
曝光系统并没有启动,反而在真空罩内,进行一种复杂的工艺。
几个院士目不转睛,完全忘乎所以的盯着真空罩。
丝毫不顾周围人的感受。
工部尚书卢风忍不住问道:“这,是在干什么?”
并不了解光刻机。
云凌峰解释道:“光刻机所加工的,并不是真正的芯片,而是芯片的基础单位晶圆。”
“而晶圆加工,必须要进过五个流程。”
“晶圆裸片,金属溅镀,涂布光阻,刻蚀技术,光阻取出,电镀工艺。”
“现在这个过程可以称之为镀膜!”
“简单来说,就是电子元器件的物理气象沉积工艺。”
“利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集而形成高速离子束流,轰击固体表面。”
“离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,也就是镀膜!”
听完,工部尚书不由的点了点头,但其实……根本就没听懂。
“不错,不错!”但工部尚书还是忍不住的赞叹起来。