“我在米国那边工作多年，对米国国内在知识产权严格管制方面是很清楚的，我这次回国要研制刻蚀设备要绕开国外几千个技术专利还是有很大的难度，不过星环科技公司目前研发的这种刻蚀工艺让我在设备技术上有了新的想法。”
罗志平对周晓东开口说道：“具体地来说，我们可以增强刻蚀设备在刻蚀形貌控制、均匀性控制、减少刻蚀损伤、刻蚀选择比提高等方面进行技术攻关，满足你们这种立体晶体管的刻蚀工艺要求，提高这种芯片器件的工艺性能和良率，这样的话我们在设备研制中至少可以发明上百项的技术专利。”
周晓东
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